- 초저주파 : 20Hz 이하

- 가청 주파수 : 20 ∼ 20KHz

- 초음파 : 15KHz 이상

- 인간이 들을 수 없는 (가청 주파수 이상의) 높은 주파수의 음파

- 인간이 듣기위한 목적이 아니고, 음파의 성질을 이용하여 물체, 물질의 물성적 변화와 계측등에 이용하는 경우의 음파

- 통신적 응용 - 수중 Sonar, 어군탐지기, 탐상기, 두께측정기, 액면계, 점도계, 의료용 진단기기등

- 동력적 응용 - 세정기, 제진기, 분무기, 건조기, 가공(융착, 용접, 절삭등), 초음파 치료기기등

두 개 이상의 파동이 겹쳐질 때 나타나는 현상. 간섭 결과 생기는 파동 양상은 원래 파동의 주기, 진폭, 위상, 파면의 진동 방향 및 진행 방향에 의해 결정된다.

보강 간섭 : 두 파동의 위상이 동상이어서 마루와 마루끼리 서로 합쳐질때

상쇄 간섭 : 두 파동의 위상이 이상이어서 골과 마루가 서로 상쇄될때

정재파 : 간섭의 예로서 주기, 진폭 및 진행 방향이 같으나 위상이 다른 파동의 간섭으로 발생

보강간섭과 상쇄간섭  간섭으로 나타난 경제파

분 류 주파수(KHz) 세정목적

저주파 세정 20 ~ 90 직진류, 캐비테이션을 이용한 강력세정, 거친세정

고주파 100 ~ 400 캐비테이션 damage가 없는 정밀세정(LCD, Wafer등)

초고주파 1MHz 이상 Submicron 초정밀세정 (Wafer, LCD,PDP등)

항 목 28KHz단주파 40KHz 단주파 다주파 (40~90KHz) 스프레이초음파(1MHz)

세척원리 케비테이션 케비테이션 케비테이션 입자가속도

입자가속도 1500G 2500G 2500~5000G 100000G

충격력 수백기압 수십기압 수십기압 없음

정재파 (비균일성) 매우강력 강력 약함 없음

파동의 특징 회절강함 회절강함 회절강함 직진성 높음

제거가능 입자 3μm 이상 2μm 이상 1.5μm 이상 0.1μm 이상

용 도 일반 세척용 일반 세척용 정밀 세척용 초정밀 세척용

공진 이용(세정강도 大)

정재파 복부분만 세정

설치 유지보수가 어려움

바닥 에로젼 심함 공진 이용 안함(세정강도 小)

전체 균일 세정

설치 유지보수가 용이함

대부분 다주파를 많이 사용함

위의 실험은 유체변동이 없는 정지된 세정조에서 실험한 것

물의 온도나 피세척물이 투입되었을때는 절과 복부분의 변화발생

수면의 높이와 Overflow되는 물의 량에 따라 또한 변화되어짐

초음파 발진장치로부터 전기 신호가 진동판의 진동자로 인가되면 이 진동자는 기계신호로 변환하고, 이 변환된 기계신호는 수중의 매질을 통하여 진동하여,음압의 변화로 케비테이션 현상을 발생시켜 이물의 박리 및 제거에 사용하는 것을 초음파 세정이라고 한다.